Aligneur de masques – OAI modèle 204IR

• Cet aligneur de masques manuel peut faire l’alignement recto et verso (par transmission de lumière infrarouge).
• L’aligneur peut fonctionner en mode de contact doux, de contact dur et de contact en dépression.
• L’outil est doté d’une lampe de 350 W émettant une lumière ultraviolette proche calibrée à une intensité de 20 mW/cm² à i-line (365 nm).
• Les deux microscopes d’alignement ont une séparation d’au moins 48 mm et un champ de vision d’environ 300 µm. Pour l’alignement recto, il est possible d’atteindre une précision d’un ordre de 1 à 2 µm.

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